電子潔凈實(shí)驗(yàn)室的前期規(guī)劃與設(shè)計(jì)

　　明確需求與等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)

　　確定潔凈度等級(jí)(如ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)中的Class 1~9級(jí)，或美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209E)，進(jìn)而進(jìn)行潔凈工程。

　　根據(jù)實(shí)驗(yàn)類(lèi)型(如半導(dǎo)體制造、微電子器件封裝、光學(xué)器件研發(fā))確定溫濕度、氣壓梯度、防靜電(ESD)、振動(dòng)控制等參數(shù)。

　　預(yù)留未來(lái)升級(jí)空間，考慮設(shè)備布局和工藝動(dòng)線(xiàn)。

　　選址與建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

　　避免靠近振動(dòng)源、污染源(如交通干道、化工廠)。

　　建筑主體需具備高氣密性，墻體、天花板采用無(wú)塵、抗靜電材料(如彩鋼板、不銹鋼板)。

　　地面采用環(huán)氧自流平或PVC防靜電地板，接縫需密封處理。

　　HVAC系統(tǒng)設(shè)計(jì)

　　空氣凈化系統(tǒng)：高效過(guò)濾器(HEPA/ULPA)的布局與換氣次數(shù)(如ISO Class 5級(jí)需≥50次/小時(shí))。

　　溫濕度控制：精密空調(diào)系統(tǒng)，維持溫度22±1℃、濕度45%±5%。

　　氣流組織：?jiǎn)蜗蛄?層流)或非單向流(湍流)，確保污染物快速排出。

　　防靜電與電磁屏蔽

　　地面、工作臺(tái)面采用導(dǎo)電材料，接地電阻≤1×10?Ω。

　　設(shè)備需配置離子風(fēng)機(jī)或靜電消除器，必要時(shí)增加電磁屏蔽室。

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